表面粒子检测分析仪

表面粒子计数器（表面颗粒物检测分析仪）是检测物体表面（尤其金属表面）单位面积内尘埃颗粒数量及粒径分布状况的专用测量仪器。它是一款用于测量和检测机台或切片等物体表面微粒子（SPD）的精密仪器，测量直径在 100um 以下的粒子，这些粒子会快速沉降，逃避常规的空气检测从而聚积在关键表面或产品上，从而减少产品的良率及降低产品的稳定性， 表面粒子检测器可测量（0.1~5um）、（0.3~10um）、（（5~125um）的粒子，通过对表面粒子数量和粒径分析，以便更准确的分析产品的品质，以便做进一步的产品品质改善。对于生产环境的控制，提升产品的良率都起到了很大的作用，能够帮助企业更快捷的实现数据化管理。

本产品主要应用于航空航天，半导体、芯片、以及需要精确测量物体表面，金属切片等表面清洁度产品性能状态。

特点：

*快速测量表面颗粒

• 可以帮忙控制机台产品上的颗粒物从而提高产量

• 通过快速识别粒子源，减少故障排除时间

• 可以监测物料，来料，以及Parts上的Particle

• 减少PM的周期

• 符合 14644-1:2015 及 ISO14644-9:2022操作规范 等国际标准，国内相关大学及科研单位共同开发研制的成功产品

• 减少表面粒子引起的相关产品故障

主要技术参数表：

1.流量：28.3 L/min±5% 内置流量传感器，流量自动闭环控制

2.光源：进口激光二极管

3. 测试粒径: 0.3，0.5，0.7,1.0，3.0，5.0，7.0,10.0μm（可客户需求定制，最多八通道）

最大饱和浓度：2000000/ft³（5%）

5.自净时间：≤10min

6. 测量次数：0-99 次 周期：0-99999 秒 测量间隔：0-9999 秒 延时时间：0-9999 秒

7. 洁净度等级：1～9 级

8. 采样头规格：Φ36.5

9.数据单位：m³、ft³

10. SCP 等级： 1 级～8 级

11. 表面类型：圆形、方形

12. 表面探头：12.7,20,30,50,70mm(直径)

13. 数据单位：m²、 ft2、cm²、 mm2

14. 根据探头的形状 (如:圆形输入直径、方形输入长宽尺寸)，自动计算出表面积。

15. 打印功能：热敏打印机

16. 数据储存：可储存 1000000 组数据

17. 重量：7.5kg

18. 外形尺寸：230×230×230mm

19.可带232或485通讯功能。其它辅助功能可订制。